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文字	用語	説明	画像
A	ＡＵＴＯ ＣＨＡＳＥＲ オートチェーサー	定振幅機能を持った加工機用の超音波発生装置の商品名	機器例：オートチェーサー
	ＡＭ変調 エイエムへんちょう	振幅変調の略。振動振幅を時間的に変化させる方式。一般的に商用電源（５０Ｈｚ又は60Ｈｚ）を利用して出力を変化させている。電源の整流方式により全波形と半波形がある。

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B	ＢＬＴ ﾋﾞｰ､ｴﾙ､ﾃｨｰ	Bolted Langevine type Ｔransducerの略称、ＢＬ振動子参照。
	ＢＬ振動子 ﾋﾞｰｴﾙしんどうし	ボルト締めランジュバン振動素子（Bolted Langevin type Ｔransducer）の略称。高周波電圧を加えると機械振動が発生する電歪型振動子（electrostricition　transducer）である。現在のＢＬ振動素子は、電圧を加えると伸び縮みする圧電素子のチタン酸ジルコン酸鉛（通称、PZT)を２つの金属ブロックではさみ、ボルトで締め付けた形となっている。振動素子を金属のブロックみ、数十ｋＨｚで作動するようにした構造を1917年フランスのＰ. Langevinによって発明された。後にボルトで締め付け高振幅/耐久性を持たせたため「ボルト締めランジュバン振動子」と呼ばれるようになった。	２６ｋＨｚ　ＢＬ振動子

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F	ＦＭ エフエム	周波数変調、Frequency Modulationの略称。特定の周波数間を繰り返し発振させる方法を言う。また、繰返し周期をＦＭ変調幅と言う。なお、繰り返し周期を非常に低い周波数で変化させる場合をスイープとも呼んでいる。本方式を用いると定在波の位置が周期的に変わるため、洗浄ムラを低減させることが可能となる。
	ＦＰＤ エフピーディ	Flat Panel Displayの略称。フラットパネルディスプレイとは、薄型で、平坦な画面を持ったディスプレイの総称。液晶やプラズマ、有機ＥＬなどの方式がある。

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P	ＰＨＥＮＩＸ フェニックス	低周波超音波洗浄機の商品名。 現行機種としてはフェニックス＋（プラス）やフェニックスⅢがある。
	ＰＨＥＮＩＸ ＬＥＧＥＮＤ フェニックスレジェンド	低周波超音波洗浄機の商品名
	ＰＬＬ周波数自動追尾 phase lock loop frequency tracing ﾋﾟｰ､ｴﾙ､ｴﾙしゅうはすうじどうついび	入力信号とＶＣＯ（電圧制御発信器）の信号の位相差を無くす様ＶＣＯの発振周波数を自動的に可変させる回路を搭載した周波数を自動的に追尾し常に最適な周波数で発振させる回路。ｶｲｼﾞｮｰの工業用超音波洗浄機は同回路を搭載し精密に周波数追尾を行っている。
	ＰＳＥ ﾋﾟｰ､ｴｽ､ｴｰ	正式名称は電気用品安全法。通称は電安法またはPSE法と言われいる。旧来の電気用品取締法（通称：電取法（昭和36年法律第234号））に替わり、2001年4月1日に施行された。超音波洗浄機は電気用品安全法施行令　別表第二　電子応用器具に区分されており、出力が５０Ｗ以下で洗浄装置に搭載されない機器がＰＳＥ対象となっている。	ＰＳＥマーク対応の 卓上型超音波洗浄機
	ＰＺＴ振動子 ﾋﾟｰ､ｾﾞｯﾄ､ﾃｨｰしんどうし	チタン酸ジルコン酸鉛（通称、PZT)と呼ばれる圧電素子。超音波の高周波電圧を加えると機械振動が発生する電歪型振動子（electrostricition　transducer）である。ＢＬ振動子の圧電部分やメガソニックの振動子として使用されている。

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Q	ＱＵＡＶＡ クオーバ	高機能超音波洗浄器の商品名。Quality（品質）とＶＡ（前進の意味）を足した造語。精密出力コントロールが可能でフルデジタル制御となっている。	ＱＵＡＶＡ

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S	ＳＯＮＯ ＣＬＥＡＮＥＲ ソノクリーナー	卓上型超音波洗浄機の商品名。ソノクリーナーDシリーズは１００Ｄから４００Ｄまで洗浄物の大きさに合わせて４機種をラインナップ	卓上型超音波洗浄機

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W	Ｗ ワット	電力の単位。蒸気機関の発展に寄与したジェームス・ワットにちなんで1889年につけられた。電気工学上では１Ｗ＝1Ａ（ｱﾝﾍﾟｱ）×1Ｖ（ﾎﾞﾙﾄ）となる。1秒間に１ワット使用すると1ジュールとなる。
	ＷＲＳ ダブリューアールエス ＷａｔａｒＲｅｓｏｎａｎｃｅＳｙｓｔｅｍ	液改質装置の商品名、水共振システムとも言う。水に入っている超音波を吸収する大きな気泡を除去し、キャビテーション発生に必要な小さな気泡核を残すことで洗浄効果を飛躍的に向上させる。市水用とＤＩＷ、炭化水素洗浄剤用がある。同方式は日本音響学会技術開発賞を平成19年5月22日に受賞した。	市水用ＷＲＳ DIW用ＷＲＳ

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え	液深	振動子の超音波輻射面から液面までの深さ/距離を表す。
	エロージョン erosion	キャビテーションなどの機械的作用により、金属材料などの表面が徐々に磨耗/減肉した状態を言う。（侵食とも言う）。長時間使用した超音波振動子の振動面に発生するが、アルミ系やシリコンウエハなどの洗浄物の表面に発生する場合がある。振動面のエロージョンが進行すると洗浄効果の低下が見られることがある。

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か	加速度 acceleration	単位時間当たりの速度の変化割合。一般的な26ｋHz超音波洗浄器の液中に放射される音波の加速度は約1000Ｇといわれている。同様に950ｋＨｚの場合は約100000Ｇとなる。
	型式指定 type quaiification	超音波洗浄器などの高周波利用機器を使用する場合は総合通信局への個別の届出が必要だが、この型式指定を取っている超音波機器などは、総合通信局への「高周波利用設備許可申請書」の届出の必要がない。ただし50ｋＨｚ以下の超音波機器に限定されている。電波監理局（現総合通信局）への「高周波利用設備許可申請」が増え、事務の簡略化と不申請を無くすことから「型式指定」の制度が導入された。なお、型式指定を受けた機器は右記のマークが機器に表示されている。	注意:２００１年以前に取得した機器は総務省指定ではなく郵政省指定となっています。
	間接洗浄 Indirect washing	超音波洗浄槽内に洗浄槽を入れて使用する洗浄方式。薬液を使用する場合や洗浄液温を最大使用液温以上で使用したい場合に用いられる。２重槽とも言う。
	乾燥	洗浄後に残った洗浄液を取り去る方法。熱風、振りきり、真空など、まざまな方式がある。

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き	キャビテｲ	キャビテーションのこと。
	キャビテーション cavitation	超音波を加えた液体の中で、超音波のプラス圧力とマイナスの圧力差により短時間に泡の発生と消滅が起きる物理現象である。キャビテーションには気体性キャビテーションと蒸気性キャビテーションンがある。蒸気性キャビテーションは、超音波が加わると、液体中の微小気体（泡）が膨張と収縮を繰り返しながら圧力に応じてしだいに大きくなり、真空の泡となり、洗浄物の表面に張り付きながら泡の遠い側が一瞬にしてくぼみ、洗浄物表面に激突して泡は崩壊する。このとき発生する衝撃波で油汚れなどを除去する。超音波を長時間照射すると、硬い洗浄物表面や振動子表面も洗浄/侵食されエロージョンが発生する。気体性キャビテーションは気体が溶け込んでいる液体に、静圧を超える強力な超音波が照射されたとき、液体が気泡中に気化し気泡が成長形成される現象である。なお、キャビテーションは周波数と超音波強度により発生の閾値（しきいち）がある。
	キャビテーションしきい値 cavitation threshold level	キャビテーションの発生が始まる時の圧力を言う。周波数と超音波強度の関係は低周波ほど発生しやすい。蒸気性キャビテーションのしきい値は右図参照。	キャビテーションしきい値（R.Esche氏による)
	共振 resonance	ある特定の周波数信号に対して強い応答を示すことを言う。その特定周波数を共振周波数と呼ぶ。
	許容入力 allowable input power	振動子に印加できる高周波入力電力

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さ	最高使用温度	連続使用できる最大の温度。
	最適洗浄位置 optimum cleaning position	定在波の節の位置、つまり応力最大点が最適洗浄位置になる。超音波を底面から照射する場合、液面で反射し、液深方向に定在波を生じる。その際の音圧は右の式で表され、音圧が最大となる点にキャビテーションが発生し、洗浄効果に寄与するため最適洗浄位置となる。洗浄物をこの位置に置くことで洗浄効果が向上する。一般的に、振動面もしくは液面に近い最大応力点の方が洗浄効果は向上する。
	最適洗浄液深 optimum cleaning　 depth	定在波が最も良く発生する液深が「最適洗浄液深」となる。この液深とすることで、超音波洗浄機は最適動作点となり最も良く超音波を液中に照射し、洗浄効果が向上する。液深の計算は液の音速と作動周波数から求める。なお、周波数や液温、液種により最適液深は変わる。なお、一般的には液深が浅い方が洗浄効果が向上する傾向にある。
	酸系洗剤	強酸の洗浄液。一般的に酸化膜の除去や脱脂に用いられる。また、細胞膜を分解したり、細菌や微生物に必要な酵素を分解する作用がある。	カイジョーの超音波用 洗浄剤（ソノクレン）では ソノクレン101が酸系 となっている。

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文字	用語	説明	画像
し	実効出力	実際に電力として取り出せる電力
	自励発振 じれいはっしん self-oscillation	独立した発振回路やドライブ/出力回路がなく、回路全体で発振する方式。回路構成が簡略となる。主回路以外に信号を発生する回路があり、その信号を使って出力回路を作動させる構成を他励発振と言う。
	磁歪振動子 じわいしんどうし magnetostrictive vibrator	磁界を加えると伸び縮みする振動子。超音波機器にはニッケルやフェライト振動子が使われている。	フェライト振動子
	周波数 frequency	周期波の１秒間に振動する回数。単位はHz（ヘルツ）。かつては「サイクル毎秒」（c/s、略して「サイクル」）が使われていた。
	周波数自動追尾 resonant frequency tracking	超音波洗浄機の共振周波数は液深、液温、洗浄物の有無/位置などで変化する。この変化する共振周波数を自動的に追尾する機能のことを言う。ｶｲｼﾞｮｰの洗浄用発振動機は全て本機能を搭載している。
	準水系洗剤	水系洗浄剤と溶剤系洗浄剤（非水系洗浄剤）の中間的な洗浄剤。グリコールエーテル型やテルペン型などがある。フラックス、ワックス、グリース等の洗浄に適し.洗浄時の細かい孔への浸透力がある。また、毒性が小さくオゾン層破壊がない。しかし、洗浄剤が比較的高価（原液のまま使用）、2.水が無添加の製品は洗浄時可燃性となる、また乾燥が遅く.再生が不能である。さらに水分管理や必要排水処理設備が必要となる。
	振動子 transducer	電気信号を機械振動に変換する電気機械変換機。つまり、超音波振動を発生させ液中に放射する器機を言う。振動子には洗浄槽、投込振動子、振動板の３種類がある。振動子内部には電気信号を機械振動に変換するＢＬ型振動素子などが複数個接着されている。	投込型 振動板型 洗浄槽型
	振動素子 vibrator	交番電圧を印加することで、同じ周波数の機械振動をする電気機械変換器。電圧を加えると伸び縮みする電歪振動子と、磁界を加えると伸び縮みする磁歪振動子がある。	電歪振動子 磁歪振動子

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文字	用語	説明	画像
す	スポット型シャワー spot shower	振動子先端の丸い穴から洗浄液を流水させ、その流水中にメガソニックまたは中間周波の超音波を照射する洗浄器。流水式高周波超音波洗浄機の1種。ＨＤＤや半導体ウエハの洗浄に用いられている。当社はカイジョースポットシャワーとして製造/販売を行っている。	カイジョー スポットシャワー

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せ	接着範囲	ＢＬ振動子やフェライト振動子などの振動素子が接着された範囲の最外周を四角形に集約した範囲。

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文字	用語	説明	画像
た	卓上型洗浄機 all in one cleaner unit	発振器と振動子を一つの筐体に入れ、机の上で簡単に使用できる形とした洗浄装置。	SONO　CLEANER
	多周波超音波発生装置 multifrequency ultrasonice cleaner	一つの発振器で異なった複数の周波数の超音波電力を発生できるクオーバ ミニやクオーバ マルチなどの機器。振動子は個々の周波数に適合したものを使用する。	Ｑuava　Multi
	単位超音波出力	全超音波パワーを振動子の放射面積で割った単位放射面積当たりの超音波パワー。単位はＷ/平方ｃｍとなる。一般的な低周波超音波洗浄器は0.7Ｗ/平方ｃｍ前後となっています。
	炭化水素系洗剤	主に炭素と水素でできた洗浄液。特徴としては①.機械油に対する溶解力が強い　②浸透力がある（細かい孔等でも洗浄可能）　③.一般に蒸留再生が可能　④.オゾン層破壊がない　⑤.毒性が極めて低い　⑥.コストが安いがあげられ、浄力があるため、機械加工部品などに広く使われている。なお、引火爆発の可能性があり、消防法 による取り扱い量等の規制がある。

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文字	用語	説明	画像
ち	超音波 Ultrasonics	聞くことを目的としない音。つまり、聞こえる音でも加工や測定などに使用した場合は超音波と呼んでいる。なお、一般的には人間が聞こえない20ｋＨｚ以上の音を超音波と言っている。
	超音波工業会(USMAJ) Ultrasonic Manufacturers Association of Japan	１９６６年７月に超音波応用機器の製造/販売及び関連機材会社1９社で発足。超音波エネルギ－の応用技術の普及促進を目指し活動をしている我が国唯一の強力超音波応用機器の工業会。 所在地　〒205-8607 東京都羽村市栄町3-1-5　株式会社カイジョー内 ＴＥＬ：042-578-8996　 超音波工業会
	超音波出力 Ultrazonic power	超音波洗浄槽内に放射される超音波のエネルギー。音響出力参照実際に洗浄槽内に放射される超音波は、発振器の出力から出力ケーブルやＢＬ振動子などの損失を差し引いた値となる。ＪＥＩＴＡ規格AE-4005A（現超音波工業会規格　USMAJ　Ｓ-004）に規定されている。
	超音波洗浄機 Ultrasonics cleeaner	物理力として超音波を使用した洗浄機、現在は14.5ｋＨｚから2ＭＨｚ程度の周波数の洗浄機が実用化されている。ＪＥＩＴＡ規格AE-4001A（現超音波工業会規格　USMAJ　Ｓ-002）に規定されている。
	直進流	超音波洗浄槽内に放射される超音波の放射圧によって生ずる液の流れ。 クオーバ メガソニック洗浄などで発生する。

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文字	用語	説明	画像
て	定格出力 rated output power	ある定められた負荷に、ある定められた駆動条件で、発振機から取り出すことができる高周波出力電力。
	定格電圧 rating voltage	製造メーカーが指定した条件又は法令で定められた条件で、その機器の仕様/性能を満足する電源電圧
	定在波 standing waves	両端を固定した弦をはじくと、振動が波となって弦の両側へ伝わり、両端で反射した反射波が、他の端で反射するというように、反対向きに進む波がお互いに干渉しあいます。このような状態となった波を定在波と言います。超音波洗浄槽内では、液表面と振動面で繰返し音波が反射して定在波（共振超音波）が生じます。進行波と反射波が完全に重なり合う水深さにすると、大きな振幅の定在波が発生し最適な使い方となります。
	定出力回路 power constant control	液深、液温、被洗浄物の有無や位置などで超音波発振器の出力は大きく変動するが、この超音波電力を設定した出力に常に維持する回路
	電気用品安全法	ＰＳＥ参照
	電波管理局	総合通信局参照
	電監申請 電波申請	超音波機器は総合通信局への「高周波利用設備許可申請書」の届出の必要があります。この申請のことを電波申請又は電監申請と呼ぶ場合がある。なお、型式指定取得機は届出の必要は無い。また50ｋＨｚ以上の機器は型式指定外となるため届出が必要である。用紙は一般的に機器に付属しているが、無い場合は総合通信局のＷｅｂサイトからダウンロードできる。なお超音波工業会でも記入方法付の届出用紙を販売している。
	電波法 radio low	昭和２５年に制定された日本の無線制度の基本法。出力が50W以上の超音波機器は高周波利用設備として同法の対照となります。
	電歪振動子 でんわいしんどうし electrostricition transducer	超音波の高周波電圧を加えると機械振動が発生する振動子。圧電振動子とも言う。一般的にＰＺＴが使用されている。
	電力計 high hurequency power meter	発振器から出力される高周波超音波電力の値を測定する機器。通信機用の電力計と違い実行電力を表示する。ＪＥＩＴＡ規格AE-4007A（現超音波工業会規格　USMAJ　Ｓ-003）に規定されている。	8501Ｃ-MR型

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文字	用語	説明	画像
は	波長 wavelength	一つの波の山（あるいは谷）から次の山（あるいは谷）の長さをいう。 この波長をλ（ラムダ）と表している。
	発振器 generator	振動子を駆動するための高周波電力発生装置。商用周波数の電源を、振動子の共振周波数に変換する器機を言う。なお、通信機器では「発信器」と書くが、超音波では振動の振を使い「発振器」書いている。	発振器例： フェニックスハイパー
	バッチ洗浄 （処理）	洗浄タンク内に被洗浄物を浸漬させ洗浄する方式。 ウエハ洗浄装置ではクオーバ シリーズが使用されている。

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文字	用語	説明	画像
ふ	フェライト振動子 ferrite vibrator	酸化ニッケル、酸化銅、酸化鉄などを主原料とし、焼結形成された磁歪振動子。バイアス永久磁石によると磁界を加える巻線で構成される。
	フッ素系洗剤	フッ素系溶剤をベースにした工業用洗浄剤。　特徴としては①低毒性で乾燥性が良い　②リサイクル可能　③低エネルギーコストなど他の洗浄剤にはない特徴があり，さまざまなニーズに応えることのできる洗浄剤である。しかし，「オゾン層保護法」と「地球温暖化対策推進法」により1995年に特定フロン等（CFC"113, 1, 1, 1"トリクロロエタン）は全廃となり，代替フロン（HCFC-225等）は2020年に全廃が決まっている。このためフッ素系洗浄剤は炭化水素系洗浄剤や水系洗浄剤への代替が進んでいる。一般に不燃性で、.蒸気洗浄が可能。また.フロン113程度の洗浄力があるが洗浄剤が高価である。

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文字	用語	説明	画像
ほ	ホーン洗浄機 hon type cleaner	金属体の音響共振体をホーンと呼んでいるが、このホーンの先端から超音波を液中に照射し洗浄する方式。一般的な超音波洗浄機の10～20倍の強度の音波を照射でき、強力な洗浄が可能となる。カイジョーの製品はオートチェーサーシリーズとなる。	オートチェーサー
	ボルト締めランジュバン 型振動子	ＢＬ振動子参照

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文字	用語	説明	画像
ま	枚葉洗浄 ﾏｲﾖｳｾﾝｼﾞｮｳ まいようせんじょう	被洗浄物を1個枚に洗浄する方式。スポット型シャワーやＵＳシャワーが用いられる。
	マルチ発振 multifrequency oscillator	同一の振動子から複数の周波数の超音波を発生できる機器。同時発振方式と交互発振方式がある。	Ｑuava　Multi

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文字	用語	説明	画像
ら	ラインシャワー line shower	振動子先端の細いスリットから洗浄液を流水させ、その流水中にメガソニックまたは中間周波の超音波を照射する洗浄器。流水式高周波超音波洗浄機の1種。ＨＤＤや半導体ウエハの洗浄に用いられている。当社はＵＳシャワーとして製造/販売を行っている。
	ラインフォーカス形 line focus	ラインシャワー参照

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