クオーバ USシャワー（超音波精密洗浄）
- LCD・ウェーハ基板の枚葉洗浄用の超音波洗浄機（両面対応）
- シャワーと超音波の同時洗浄のため、再付着が無く超精密洗浄が可能。
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構造がシンプルで洗浄効率が高い上方へ洗浄液を噴射させれば、FPD基板などの裏面洗浄が可能。
| 対応周波数 | 950kHz |
|---|
さきどり申請
周波数50 kHz以上の機種は型式指定が受けられないため申請し許可状の交付を受ける必要があります。
カイジョーは許可状交付までのタイムラグを無くすために、ご発注と同時に申請に必要な情報をお出しする「さきどり申請」に対応しています。
詳しくはこちらからご確認ください。
- 【動画で製品紹介】
ＵＳシャワー製品紹介の動画はこちらからご覧ください。
- 【動画で製品紹介】
クオーバ（発振器）製品紹介の動画はこちらからご覧ください。
用途
- LCD・ウェーハ基板の枚葉洗浄
発振器の特徴
- 750kHz/950kHzはハイメガとの互換性があり、発振器を入替で洗浄性能アップが可能
- 旧ハイメガ78101型に比べ81%に小型化、重さも17kgと軽量化！900Wから1,200Wにパワーアップ！さらに大面積を洗浄できます。
- 4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能。
- 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に！（200kHz以上に対応）
- 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
- サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。
振動子の特徴
- 枚葉式LCD洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能。
- 0.2μm以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
- 高周波（950kHz）で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。
振動子のスペック
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 項目 | 仕様 | ||
|---|---|---|---|
| 型名 | 6879BK | 7979BK | 78BK30－660 |
| 許容入力 | 600W | 900W | 1200W |
| 公称共振周波数 | 950kHz | ||
| 有効洗浄寸法 | 330mm | 495mm | 660mm |
| 所用水量 | 20～25L／分 | 20～30L／分 | 40～45L／分 |
| ケース材質 | SUS316L | ||
| 振動板材質 | SUS316L | ||
| 接液部 | 複合電解研磨処理 | ||
| 最高使用温度 | 70℃ | ||
| コード長 | 振動子用：5M2本 | 振動子用：5M3本 | 振動子用：5M4本 |
| センサー用：5M1本 | センサー用：5M1本 | センサー用：5M2本 | |
| 保護回路 | 液面センサー（テフロン） | ||
| FU93（キーエンス） | |||
| 重量 | 5kg | 6kg | ７kg |
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※上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。
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