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クオーバ USシャワー(超音波精密洗浄)

USシャワー
LCD・ウェーハ基板の枚葉洗浄用の超音波洗浄機(両面対応)
シャワーと超音波の同時洗浄のため、再付着が無く超精密洗浄が可能。
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構造がシンプルで洗浄効率が高い上方へ洗浄液を噴射させれば、FPD基板などの裏面洗浄が可能。
対応周波数 950kHz

用途

  • LCD・ウェーハ基板の枚葉洗浄

発振器の特徴

  • 10種類の周波数の振動子を交換するだけで発生!
  • 750kHz/950kHzはハイメガとの互換性があり、発振器を入替で洗浄性能アップが可能
  • 旧ハイメガ78101型に比べ81%に小型化、重さも17kgと軽量化!900Wから1,200Wにパワーアップ!さらに大面積を洗浄できます。
  • 4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能。
  • 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!(200kHz以上に対応)
  • 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
  • サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。

発振器スペック

※スクロールで表全体をご覧いただけます。

項目 仕様
定格出力 1200W※
発振周波数 26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
(振動子の選択で変更)
発振モード PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振
電源 電流 10A
電圧 AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz)
外形寸法 430(W) × 418(D) × 148(H)
重量 17kg
主な機能 リモートモード
8段階出力
RS485通信
異常出力端子
アナログ出力(出力モニタリング)
0-5(標準設定) or 4-20mA(出荷時切替可能)

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※上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。

振動子の特徴

振動子
  • 枚葉式LCD洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能。
  • 0.2μm以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
  • 高周波(950kHz)で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。

振動子のスペック

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項目 仕様
型名 6879BK 7979BK 78BK30-660
許容入力 600W 900W 1200W
公称共振周波数 950kHz
有効洗浄寸法 330mm 495mm 660mm
所用水量 20~25L/分 20~30L/分 40~45L/分
ケース材質 SUS316L
振動板材質 SUS316L
接液部 複合電解研磨処理
最高使用温度 70℃
コード長 振動子用:5M2本 振動子用:5M3本 振動子用:5M4本
センサー用:5M1本 センサー用:5M1本 センサー用:5M2本
保護回路 液面センサー(テフロン)
FU93(キーエンス)
重量 5kg 6kg 7kg

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※上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。

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