株式会社カイジョー > 超音波機器事業部TOP > 製品情報<超音波機器事業> > クオーバ スポットシャワー(超音波精密洗浄)

クオーバ スポットシャワー(超音波精密洗浄)

スポット型シャワー
枚葉洗浄用スポット型シャワー高周波超音波洗浄機
超音波をのせた洗浄液をノズル先端より噴射。独自の振動子構造で高い洗浄効果が期待できる新世代洗浄機です。
QUAVAの高機能を継承し、枚葉洗浄に最適です。半導体ウェーハ・LCDの枚葉洗浄、ハードディスク洗浄にもお使いになれます。
振動子は同一筺体に2台を装着したWスポットシャワーもラインナップ。
対応周波数 430kHz/950kHz、2MHz/3MHz

用途

  • 太陽電池、FPD基板、ハードディスク基板の精密洗浄

発振器の特徴

  • ホストコンピューターとの相互通信可能。
  • ホストコンピューターで出力変更可能。
  • 出力調整は0.1W刻みの微調整が可能。
  • 出力は4桁のデジタル表示。
  • ソフトスタート機能を搭載。
  • 振動子交換時の発振器調整が不要。
  • AC100~240Vのフリー電源。
  • 洗浄ムラが少なく、微細パターンへのダメージがほとんど無い。

発振器スペック

※スクロールで表全体をご覧いただけます。

発振器仕様 20110(QT-003)型 29110(QT-011)型
最大出力 50W * 50W *
最小出力 1W
出力調整単位 0.1W
周波数 430kHz、950kHz 2MHz、3MHz
発振モード方式 PLL発振、Aモード
周波数調整 ソフトウェア自動追尾PLL方式
電源 AC100V -240V 250VA 単相50/60Hz AC100V% -240V 250VA 単相50/60Hz
付属機能 リモート端子、外部出力制御、強制停止端子
総合警報端子、アナログ出力端子(4-20mA)
外形寸法[mm] 218(W)×258(D)×138(H)

※スクロールで表全体をご覧いただけます。

最大出力が100Wの30110型をラインアップしています。
*最大出力及び周波数は組み合わせる振動子により自動的に制御されます。

スポットシャワー

カイジョースポットシャワー

超音波をのせた洗浄液をノズルより噴射。半導体ウエーハ・LCD・HDDなどを効率よく洗浄! PCTFE製の筐体も製作いたします。ご依頼ください。

Wスポットシャワー

カイジョーWスポットシャワー

超音波をのせた洗浄液をノズルより噴射。
カイジョースポットシャワーを同一筐体に2台装着させ、ハードディスク等の両面同時洗浄が1台で可能になりました。
独自の振動子構造で高い洗浄効果が期待できます。

*ご要望に合った形状のWスポットを製作いたします。ご相談ください。

スポットシャワー

※スクロールで表全体をご覧いただけます。

動子仕様 27220型 17220型 28220型 29220型 29220H型
許容入力 50W 20W 30W 30W 30W
発振器型式 20110(QT-003)型 20110(QT-011)型
作動周波数 430kHz 950kHz 2MHz 3MHz
筐体材質* PEEK PEEK
振動板材質 Ta Ta
耐熱温度 10~40℃ 10~40℃
使用液量 2.0-3.5L/min 1.0-1.5L/min 1.0-1.5L/min
外形寸法〔mm〕 φ57×90(H) φ36×71(H) φ36×71(H)

※スクロールで表全体をご覧いただけます。

Wスポットシャワー

※スクロールで表全体をご覧いただけます。

振動子仕様 27223型 28223型
許容入力 20W×2 30W×2
発振器型式 20110(QT-003)型  2台
作動周波数 430kHz 950kHz
筐体材質 PEEK
振動板材質 Ta
耐熱温度 10~40℃
使用液量 3-4L/min 2-3L/min
外形寸法[mm] 84(W)×32(D)×59(H)

※スクロールで表全体をご覧いただけます。

お問い合わせ

Contact製品に関するお問い合わせ
製品に関するお問い合わせや技術情報は右記よりお願いいたします。