サブミクロンクラスの微粒子の除去。
精密洗浄に適した周波数の超音波洗浄機。
最大3m幅を1本の振動子でカバーできる大型FPD基板対応モデル。高い洗浄性と純水使用量の削減の両立が可能。
枚葉洗浄用のシャワータイプ。