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ボンディングシステム | エポキシ接合 |
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ボンディングスピード | 0.18秒/サイクル(プロセス時間含まず) |
ボンディング精度 | 位置:±25μm(3σ) 角度:±3°(3σ) |
チップサイズ | □0.15~□1.5mm |
リードフレームサイズ | 長さ:90mm~230mm 幅:20mm~100mm 厚さ:0.1mm~2mm |
マガジンサイズ | 長さ:95mm~235mm 幅:30mm~110mm 高さ:100mm~175mm ストック数:2~3マガジン |
ウエハサイズ | 4インチ用グリップリング(外径φ152mm) 6インチ用グリップリング(外径φ210mm)/OP |
外観寸法 | W1,750×D1,080×H2,050mm(警告灯含む) |
重量 | 930kg |
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