クオーバ メガソニック洗浄（超音波精密洗浄）
- 半導体や液晶などに要求される
ナノレベルの超微粒子をハイメガが除去 - 超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機です。半導体ウエハや液晶、HDDなどの超微粒子の除去に使用できます。高周波（750kHz、950kHz）のメガソニック洗浄は、主に加速度で洗浄を行います。このため、キャビテーションがほとんど発生しません。キャビテーションによるエロジョン（ダメージ）や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。
| 対応周波数 | 750kHz／950kHz |
|---|
さきどり申請
周波数50 kHz以上の機種は型式指定が受けられないため申請し許可状の交付を受ける必要があります。
カイジョーは許可状交付までのタイムラグを無くすために、ご発注と同時に申請に必要な情報をお出しする「さきどり申請」に対応しています。
詳しくはこちらからご確認ください。
- 【動画で製品紹介】
クオーバ メカソニック洗浄の製品紹介の動画はこちらからご覧ください。
- 【動画で製品紹介】
クオーバ（発振器）製品紹介の動画はこちらからご覧ください。
- 【動画で製品紹介】
クオーバの製品紹介動画はこちらからご覧ください。
発振器の特徴
- 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に！（200kHz以上に対応）
- 4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能。
- 立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能。
- QUAVAシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり、発振器の入替で洗浄性能アップが可能。
- 旧ハイメガ78101型に比べ81％に小型化、重さも17kgと軽量化！
- サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。
- 振動子交換時の調整は原則不要（マッチングレス）。
- 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
用途
- Siウェーハ・GaAs等の洗浄
- 液晶ガラスの洗浄
- ガラスマスクの洗浄
- ハードディスクの洗浄
- 水晶振動子の洗浄
- 薄膜磁気ヘッドの洗浄
- 脆性材料等の洗浄
- その他超精密洗浄
振動板特徴
- 振動素子が大型P．Z．T振動素子なので、洗浄ムラがありません。
- パワー密度が非常に高く、洗浄能力が優れています。（最大約5.4W／㎝2）
- 板厚が厚く、機械的強度に優れて長寿命ですから、洗浄槽への組込みも安心です。
- 音響的損失がほとんどなく高効率です。
- 素子の繋ぎ目が少なく、最良の洗浄効果が期待できます。
- 材質はSU304、316、316Lの3タイプに対応可能です。
振動板スペック
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 仕様 | ウェーハ6 振動板仕様 |
ウェーハ8 振動板仕様 |
ウェーハ12 振動板仕様 |
|---|---|---|---|
| 型名 | 7857S型 | 8857S型 | 98SL型 |
| 許容入力 | 300Wx4 | 300Wx6 | 300Wx16 |
| 周波数 | 950kHz | 950kHz | 750kHz |
| 振動輻射面(mm) | 136x163 | 165x215 | 275x319 |
| 振動板材質 | SU316L | SU316L | SU316L |
| 振動体 | PZT | PZT | PZT |
| 最高使用温度 | 70℃ | 70℃ | 70℃ |
| 外形寸法 (WxDxHmm) |
185x215x55 | 255x305x55 | 410x340x65 |
| 取付方法 | ボルト固定 | ボルト固定 | ボルト固定 |
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洗浄槽特徴
- 使用液温により常温（50℃ Max）、高温（70℃ Max）の2タイプの対応が可能です。
- 特注仕様の製作もいたします。
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