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クオーバ メガソニック洗浄(超音波精密洗浄)

メガソニック洗浄
半導体や液晶などに要求される
ナノレベルの超微粒子をハイメガが除去
超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機です。半導体ウエハや液晶、HDDなどの超微粒子の除去に使用できます。高周波(750kHz、950kHz)のメガソニック洗浄は、主に加速度で洗浄を行います。このため、キャビテーションがほとんど発生しません。キャビテーションによるエロジョン(ダメージ)や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。
対応周波数 750kHz/950kHz

用途

  • Siウェーハ・GaAs等の洗浄
  • 液晶ガラスの洗浄
  • ガラスマスクの洗浄
  • ハードディスクの洗浄
  • 水晶振動子の洗浄
  • 薄膜磁気ヘッドの洗浄
  • 脆性材料等の洗浄
  • その他超精密洗浄

発振器の特徴

  • 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!(200kHz以上に対応)
  • 4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能。
  • 立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能。
  • QUAVAシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり、発振器の入替で洗浄性能アップが可能。
  • 旧ハイメガ78101型に比べ81%に小型化、重さも17kgと軽量化!
  • サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。
  • 振動子交換時の調整は原則不要(マッチングレス)。
  • 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
  • 10種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、周波数の変更が可能。

発振器スペック

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項目 仕様
定格出力 1200W ※
発振周波数 26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
(振動子の選択で変更)
発振モード PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振
電源 電流 10A
電圧 AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz)
外形寸法 430(W) ×418(D) ×148(H)
重量 17kg
主な機能 リモートモード
8段階出力
RS485通信
異常出力端子
アナログ出力(出力のモニタリング)
0-5V(標準設定) or 4-20mA(出荷時切替可能)

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※注:26kHz、38kHzの定格出力は600Wになります。

振動板特徴

振動板
  • 振動素子が大型P.Z.T振動素子なので、洗浄ムラがありません。
  • パワー密度が非常に高く、洗浄能力が優れています。(最大約5.4W/㎝2)
  • 板厚が厚く、機械的強度に優れて長寿命ですから、洗浄槽への組込みも安心です。
  • 音響的損失がほとんどなく高効率です。
  • 素子の繋ぎ目が少なく、最良の洗浄効果が期待できます。
  • 材質はSU304、316、316Lの3タイプに対応可能です。

振動板スペック

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仕様 ウェーハ6
振動板仕様
ウェーハ8
振動板仕様
ウェーハ12
振動板仕様
型名 7857S型 8857S型 98SL型
許容入力 300Wx4 300Wx6 300Wx16
周波数 950kHz 950kHz 750kHz
振動輻射面(mm) 136x163 165x215 275x319
振動板材質 SU316L SU316L SU316L
振動体 PZT PZT PZT
最高使用温度 70℃ 70℃ 70℃
外形寸法
(WxDxHmm)
185x215x55 255x305x55 410x340x65
取付方法 ボルト固定 ボルト固定 ボルト固定

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洗浄槽特徴

振動板
  • 石英槽に直接振動子を接着した石英超音波槽を商品化。従来の二重槽式に比べ強力な超音波(当社比1.2倍以上)を照射します。これはカイジョーだけの技術です。
  • 使用液温により常温(50℃ Max)、高温(80℃ Max)の2タイプの対応が可能です。
  • ステンレス槽の製作もいたします。

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