ウエハ表面に「レジスト」と呼ばれる感光剤を定着させる装置です。
本装置は「ナノメートル単位の微細加工」を前提とした、極めて薄く均一な膜厚制御を行います。
ウエハを高速回転させ、遠心力を利用してレジスト液を同心円状に広げる方式が一般的です。