- 高洗浄力と低ダメージを両立した超音波洗浄機
- 200kHz、430kHz洗浄など超精密洗浄に威力を発揮する中間周波(ミッドソニック)洗浄機です。半導体ウエハや液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
中間周波(ミッドソニック)はキャビテーションと加速度で洗浄を行います。このため、メガソニック洗浄では落とせない大きなパーティクルなどの汚れの洗浄が可能です。
用途
- 液晶ガラスの洗浄
- ガラスマスクの洗浄
- HDDの洗浄
- 水晶振動子の洗浄
- 薄膜磁気ヘッドの洗浄
- 脆性材料等の洗浄
- 半導体ウエーハのエッジ洗浄
発振器の特徴
- 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!(200kHz以上に対応)
- 4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能。
- 立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能。
- QUAVAシリーズはMID SONICシリーズ(200kHz、430kHz)との互換性があり、発振器の入替で洗浄性能アップが可能。
- サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。
- 振動子交換時の調整は原則不要(マッチングレス)。
- 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
- 10種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、周波数の変更が可能。
振動板特徴
- 振動素子が大型P.Z.T振動素子なので、洗浄ムラがありません。
- パワー密度が非常に高く、洗浄能力が優れています。
- 板厚が厚く、機械的強度に優れて長寿命ですから、洗浄槽への組込みも安心です。
- 音響的損失がほとんどなく高効率です。
- 素子の繋ぎ目が少なく、最良の洗浄効果が期待できます。
発振器スペック
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
項目 |
仕様 |
定格出力 |
1200W ※ |
発振周波数 |
26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz |
(振動子の選択で変更) |
発振モード |
PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振 |
電源 |
電流 |
10A |
電圧 |
AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz) |
外形寸法 |
430(W) ×418(D) ×148(H) |
重量 |
17kg |
主な機能 |
リモートモード |
8段階出力 |
RS485通信 |
異常出力端子 |
アナログ出力(出力のモニタリング)0-5V(標準設定) or 4-20mA(出荷時切替可能) |
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
※注:26kHz、38kHzの定格出力は600Wになります。
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