クオーバ ミッドソニック洗浄（超音波精密洗浄）
- 高洗浄力と低ダメージを両立した超音波洗浄機
- 200kHz、430kHz洗浄など超精密洗浄に威力を発揮する中間周波（ミッドソニック）洗浄機です。半導体ウエハや液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
中間周波（ミッドソニック）はキャビテーションと加速度で洗浄を行います。このため、メガソニック洗浄では落とせない大きなパーティクルなどの汚れの洗浄が可能です。
| 対応周波数 | 200kHz／430kHz |
|---|
用途
- 液晶ガラスの洗浄
- ガラスマスクの洗浄
- HDDの洗浄
- 水晶振動子の洗浄
- 薄膜磁気ヘッドの洗浄
- 脆性材料等の洗浄
- 半導体ウエーハのエッジ洗浄
発振器の特徴
- 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に！（200kHz以上に対応）
- 4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能。
- 立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能。
- QUAVAシリーズはMID SONICシリーズ（200kHz、430kHz）との互換性があり、発振器の入替で洗浄性能アップが可能。
- サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。
- 振動子交換時の調整は原則不要（マッチングレス）。
- 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
- 10種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、周波数の変更が可能。
振動板特徴
- 振動素子が大型P．Z．T振動素子なので、洗浄ムラがありません。
- パワー密度が非常に高く、洗浄能力が優れています。
- 板厚が厚く、機械的強度に優れて長寿命ですから、洗浄槽への組込みも安心です。
- 音響的損失がほとんどなく高効率です。
- 素子の繋ぎ目が少なく、最良の洗浄効果が期待できます。
発振器スペック
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 項目 | 仕様 | |
|---|---|---|
| 定格出力 | 1200W ※ | |
| 発振周波数 | 26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz | |
| （振動子の選択で変更） | ||
| 発振モード | PLL発振／固定発振／Aモード発振／Bモード発振 | |
| 電源 | 電流 | 10A |
| 電圧 | AC200V～AC240V（±10％ 1Φ 50/60Hz） | |
| 外形寸法 | 430（W) ×418（D) ×148（H) | |
| 重量 | 17kg | |
| 主な機能 | リモートモード | |
| 8段階出力 | ||
| RS485通信 | ||
| 異常出力端子 | ||
| アナログ出力（出力のモニタリング）0-5V(標準設定） or 4-20mA（出荷時切替可能） | ||
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
※注：26kHz、38kHzの定格出力は600Wになります。
お問い合わせ
- Contact製品に関するお問い合わせ
- 製品に関するお問い合わせや技術情報は右記よりお願いいたします。