クオーバ ミッドソニック洗浄（超音波精密洗浄）
- 高洗浄力と低ダメージを両立した超音波洗浄機
- 200kHz、430kHz洗浄など超精密洗浄に威力を発揮する中間周波（ミッドソニック）洗浄機です。半導体ウエハーや液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
中間周波（ミッドソニック）はキャビテーションと加速度で洗浄を行います。このため、メガソニック洗浄では落とせない大きなパーティクルなどの汚れの洗浄が可能です。
| 対応周波数 | 200kHz／430kHz |
|---|
用途
- 液晶ガラスの洗浄
- ガラスマスクの洗浄
- HDDの洗浄
- 水晶振動子の洗浄
- 薄膜磁気ヘッドの洗浄
- 脆性材料等の洗浄
- 半導体ウエーハのエッジ洗浄
発振器の特徴
- 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に！（200kHz以上に対応）
- 4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能。
- 立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能。
- QUAVAシリーズはMID SONICシリーズ（200kHz、430kHz）との互換性があり、発振器の入替で洗浄性能アップが可能。
- サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。
- 振動子交換時の調整は原則不要（マッチングレス）。
- 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
- 10種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、周波数の変更が可能。
振動板特徴
- 振動素子が大型P．Z．T振動素子なので、洗浄ムラがありません。
- パワー密度が非常に高く、洗浄能力が優れています。
- 板厚が厚く、機械的強度に優れて長寿命ですから、洗浄槽への組込みも安心です。
- 音響的損失がほとんどなく高効率です。
- 素子の繋ぎ目が少なく、最良の洗浄効果が期待できます。
発振器スペック
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 項目 | 仕様 | |
|---|---|---|
| 定格出力 | 1200W ※ | |
| 発振周波数 | 26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz | |
| （振動子の選択で変更） | ||
| 発振モード | PLL発振／固定発振／Aモード発振／Bモード発振 | |
| 電源 | 電流 | 10A |
| 電圧 | AC200V～AC240V（±10％ 1Φ 50/60Hz） | |
| 外形寸法 | 430（W) ×418（D) ×148（H) | |
| 重量 | 17kg | |
| 主な機能 | リモートモード | |
| 8段階出力 | ||
| RS485通信 | ||
| 異常出力端子 | ||
| アナログ出力（出力のモニタリング）0-5V(標準設定） or 4-20mA（出荷時切替可能） | ||
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※注：26kHz、38kHzの定格出力は600Wになります。
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