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クオーバ ミッドソニック洗浄(超音波精密洗浄)

200kHz、400kHz洗浄
高洗浄力と低ダメージを両立した超音波洗浄機
200kHz、430kHz洗浄など超精密洗浄に威力を発揮する中間周波(ミッドソニック)洗浄機です。半導体ウエハーや液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
中間周波(ミッドソニック)はキャビテーションと加速度で洗浄を行います。このため、メガソニック洗浄では落とせない大きなパーティクルなどの汚れの洗浄が可能です。
対応周波数 200kHz/430kHz

用途

  • 液晶ガラスの洗浄
  • ガラスマスクの洗浄
  • HDDの洗浄
  • 水晶振動子の洗浄
  • 薄膜磁気ヘッドの洗浄
  • 脆性材料等の洗浄
  • 半導体ウエーハのエッジ洗浄

発振器の特徴

  • 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!(200kHz以上に対応)
  • 4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能。
  • 立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能。
  • QUAVAシリーズはMID SONICシリーズ(200kHz、430kHz)との互換性があり、発振器の入替で洗浄性能アップが可能。
  • サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。
  • 振動子交換時の調整は原則不要(マッチングレス)。
  • 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
  • 10種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、周波数の変更が可能。

振動板特徴

7857S型
  • 振動素子が大型P.Z.T振動素子なので、洗浄ムラがありません。
  • パワー密度が非常に高く、洗浄能力が優れています。
  • 板厚が厚く、機械的強度に優れて長寿命ですから、洗浄槽への組込みも安心です。
  • 音響的損失がほとんどなく高効率です。
  • 素子の繋ぎ目が少なく、最良の洗浄効果が期待できます。

発振器スペック

※スクロールで表全体をご覧いただけます。

項目 仕様
定格出力 1200W ※
発振周波数 26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
(振動子の選択で変更)
発振モード PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振
電源 電流 10A
電圧 AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz)
外形寸法 430(W) ×418(D) ×148(H)
重量 17kg
主な機能 リモートモード
8段階出力
RS485通信
異常出力端子
アナログ出力(出力のモニタリング)0-5V(標準設定) or 4-20mA(出荷時切替可能)

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※注:26kHz、38kHzの定格出力は600Wになります。

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