超音波を印加した液膜を形成し、精密な接液洗浄で微細な汚れを除去。高い洗浄効果と、被洗浄物へのダメージレスを両立した高周波超音波洗浄機です。

独自の振動子構造と近接設置（近接ギャップ）により、高周波領域でも超音波エネルギーを安定かつ効率的に伝達します。半導体ウエハなどの精密洗浄はもちろん、レジスト剥離やエッチング後の残渣除去にも最適です。