クオーバ USシャワーAD（超音波精密洗浄）
- G10.5世代対応
最大３ｍ幅を１本でカバー - シャワーと超音波の同時洗浄のため、再付着が無く超精密洗浄が可能。
最大３ｍ幅を１本の振動子でカバーできるので大型FPD基板などの洗浄が可能。
高い洗浄性を発揮する方式を採用。
また、接液方式が選択できるので、純水使用量を最大４０％削減することができます。（USシャワー比）
| 対応周波数 | 950kHz |
|---|
さきどり申請
周波数50 kHz以上の機種は型式指定が受けられないため申請し許可状の交付を受ける必要があります。
カイジョーは許可状交付までのタイムラグを無くすために、ご発注と同時に申請に必要な情報をお出しする「さきどり申請」に対応しています。
詳しくはこちらからご確認ください。
- 【動画で製品紹介】
USシャワーＡＤ製品紹介の動画はこちらからご覧ください。
- 【動画で製品紹介】
クオーバ（発振器）製品紹介の動画はこちらからご覧ください。
- 【動画で製品紹介】
USシャワーADの製品紹介の動画はこちらからご覧ください。
用途
- LCD・EL、ウェーハ基板の枚葉洗浄
発振器の特徴
- 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に！
- 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
- サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。
振動子の特徴
- 接液方式、シャワー方式の選択が可能。
- 高い洗浄性を発揮する方式を採用。
- 純水使用量の削減を実現。
- 故障しにくい構造を採用。
- 空焚き防止インターフェイスを標準装備。
- 振動子を軽量化。
振動子のスペック（その１）
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 項目 | 仕様 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型名 | 58S(317)型 | 68S(529)型 | 78S(741)型 | 78S(953)型 | 88S(1165)型 | ||||
| 許容入力 | 360W | 600W | 840W | 1080W | 1320W | ||||
| 周波数 | 950kHz | ||||||||
| 所用水量 | 11-14ℓ/分 | 16-20ℓ/分 | 25-30ℓ/分 | 28-35ℓ/分 | 46-50ℓ/分 | ||||
| 発振器台数 | 1台 | 1台 | 1台 | 2台 | 2台 | ||||
| 最高使用温度 | 50℃ | ||||||||
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
※上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。
振動子のスペック（その２）
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 項目 | 仕様 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型名 | 88S(1377)型 | 88S(1589)型 | 88S(2013)型 | 98S(2331)型 | |||||
| 許容入力 | 1560W | 1800W | 2280W | 2640W | |||||
| 周波数 | 950kHz | ||||||||
| 所用水量 | 50-55ℓ/分 | 50-60ℓ/分 | 75-85ℓ/分 | 約100ℓ/分 | |||||
| 発振器台数 | 2台 | 2台 | 3台 | 3台 | |||||
| 最高使用温度 | 50℃ | ||||||||
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
※上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。
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