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クオーバ USシャワーAD(超音波精密洗浄)

USシャワーAD
G10.5世代対応
最大3m幅を1本でカバー
シャワーと超音波の同時洗浄のため、再付着が無く超精密洗浄が可能。
最大3m幅を1本の振動子でカバーできるので大型FPD基板などの洗浄が可能。
高い洗浄性を発揮する方式を採用。
接液方式が選択できるので純水使用量の削減が可能。
対応周波数 950kHz

用途

  • LCD・EL、ウェーハ基板の枚葉洗浄

発振器の特徴

  • 10種類の周波数の振動子を交換するだけで発生!
  • 0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!
  • 用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません。
  • サイズは19インチラックに収納できる規格化されたサイズ。

発振器スペック

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項目 仕様
定格出力 1200W※
発振周波数 26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
(振動子の選択で変更)
発振モード PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振
電源 電流 10A
電圧 AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz)
外形寸法 430(W) × 418(D) × 148(H)
重量 17kg
主な機能 リモートモード
8段階出力
RS485通信
異常出力端子
アナログ出力(出力モニタリング)
0-5(標準設定) or 4-20mA(出荷時切替可能)

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振動子の特徴

振動子
  • 接液方式、シャワー方式の選択が可能。
  • 高い洗浄性を発揮する方式を採用。
  • 純水使用量の削減を実現。
  • 故障しにくい構造を採用。
  • 空焚き防止インターフェイスを標準装備。
  • 振動子を軽量化。

振動子のスペック(その1)

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項目 仕様
型名 58S(317)型 68S(529)型 78S(741)型 78S(953)型 88S(1165)型
許容入力 360W 600W 840W 1080W 1320W
周波数 950kHz
所用水量 11-14ℓ/分 16-20ℓ/分 25-30ℓ/分 28-35ℓ/分 46-50ℓ/分
発振器台数 1台 1台 1台 2台 2台
最高使用温度 50℃

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※上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。

振動子のスペック(その2)

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項目 仕様
型名 88S(1377)型 88S(1589)型 88S(2013)型 98S(2331)型
許容入力 1560W 1800W 2280W 2640W
周波数 950kHz
所用水量 50-55ℓ/分 50-60ℓ/分 75-85ℓ/分 約100ℓ/分
発振器台数 2台 2台 3台 3台
最高使用温度 50℃

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※上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。

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