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クオーバ スポットシャワー
200kHz仕様(超音波精密洗浄)

200kHz_スポット型シャワー
枚葉洗浄用スポット型シャワー
中間周波超音波洗浄機
カイジョーの技術力が200kHzの中間周波の超音波を洗浄液にのせたシャワー洗浄を可能にしました。
QUAVAの高機能を継承し、枚葉洗浄に最適です。レジスト剥離やエッチング後の残渣などの除去に効果を発揮。
対応周波数 200kHz

用途

  • レジスト剥離、エッチング後の残渣除去など

発振器の特徴

  • ホストコンピューターとの相互通信可能。
  • ホストコンピューターで出力変更可能。
  • 出力調整は0.1W刻みの微調整が可能。
  • 出力は4桁のデジタル表示。
  • ソフトスタート機能を搭載。
  • 振動子交換時の発振器調整が不要。
  • AC100~240Vのフリー電源。
  • 洗浄ムラが少なく、微細パターンへのダメージがほとんど無い。

発振器スペック

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発振器型式 20110(QT-017)型
最大出力 50W *
最小出力 1W
出力調整単位 0.1W
周波数 40ー250kHz
発振モード方式 PLL発振、Aモード
周波数調整 ソフトウェア自動追尾PLL方式
電源 AC100V -240V 250VA 単相50/60Hz
付属機能 リモート端子、外部出力制御、強制停止端子
総合警報端子、アナログ出力端子(4-20mA)
外形寸法[mm] 218(W)×258(D)×138(H)

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最大出力が100Wの30110型をラインアップしています。
*最大出力及び周波数は組み合わせる振動子により自動的に制御されます。

スポットシャワー 200kHz仕様

カイジョースポットシャワー200kHz振動子

200kHzの超音波を洗浄液にのせてシャワー洗浄。
レジスト剥離やエッチング後の残渣の除去などに効果を発揮。
PCTFE製の筐体も製作いたします。ご依頼ください。

スポットシャワー 200kHz仕様

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振動子型式 16SS型
許容入力 20W
作動周波数 200kHz
筐体材質* PEEK
振動板材質 Ta
耐熱温度 15~40℃
使用液量 1.5-2.5L/min
外形寸法〔mm〕 φ46×77(H)

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