クオーバ スポットシャワー
200kHz仕様（超音波精密洗浄）
- 枚葉洗浄用スポット型シャワー
中間周波超音波洗浄機 - カイジョーの技術力が200kHzの中間周波の超音波を洗浄液にのせたシャワー洗浄を可能にしました。
QUAVAの高機能を継承し、枚葉洗浄に最適です。レジスト剥離やエッチング後の残渣などの除去に効果を発揮。
| 対応周波数 | 200kHz |
|---|
申請対象外
日本で超音波洗浄機を使用する場合は総合通信局への高周波利用設備の許可申請が必要となっています。
ただし、出力電力が50W以下の製品を工場で使用する場合は【申請対象外】となります。
（30110型など出力電力が50Wを超えるものは申請が必要です）
- 【動画で製品紹介】
クオーバスポットの紹介の動画はこちらからご覧ください。
用途
- レジスト剥離、エッチング後の残渣除去など
発振器の特徴
- ホストコンピューターとの相互通信可能。
- ホストコンピューターで出力変更可能。
- 出力調整は0.1W刻みの微調整が可能。
- 出力は4桁のデジタル表示。
- ソフトスタート機能を搭載。
- 振動子交換時の発振器調整が不要。
- AC100～240Vのフリー電源。
- 洗浄ムラが少なく、微細パターンへのダメージがほとんど無い。
発振器スペック
※スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 発振器型式 | 20110（QT-017）型 | |
|---|---|---|
| 最大出力 | 50W * | |
| 最小出力 | 1W | |
| 出力調整単位 | 0.1W | |
| 周波数 | 40ｰ250kHz | |
| 発振モード方式 | PLL発振、Aモード | |
| 周波数調整 | ソフトウェア自動追尾PLL方式 | |
| 電源 | AC100V -240V 250VA 単相50/60Hz | |
| 付属機能 | リモート端子、外部出力制御、強制停止端子 | |
| 総合警報端子、アナログ出力端子（4-20mA） | ||
| 外形寸法[mm] | 218(W)×258(D)×138(H) | |
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最大出力が100Wの30110型をラインアップしています。
*最大出力及び周波数は組み合わせる振動子により自動的に制御されます。
スポットシャワー 200kHz仕様
200kHzの超音波を洗浄液にのせてシャワー洗浄。
レジスト剥離やエッチング後の残渣の除去などに効果を発揮。
PCTFE製の筐体も製作いたします。ご依頼ください。
スポットシャワー 200kHz仕様
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| 振動子型式 | 16SS型 | ||
|---|---|---|---|
| 許容入力 | 20W | ||
| 作動周波数 | 200kHz | ||
| 筐体材質* | PEEK | ||
| 振動板材質 | Ta | ||
| 耐熱温度 | 15～40℃ | ||
| 使用液量 | 1.5-2.5L/min | ||
| 外形寸法〔mm〕 | φ46×77(H) | ||
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