クオーバスポット
クオーバスポットは超音波をのせた洗浄液をノズル先端より噴射する枚葉洗浄に最適な超音波洗浄機です。
200kHzの中間周波から3MHzの高周波まで５種類の周波数をラインナップしているので、レジスト剥離やエッチング後の残渣などの除去から、半導体ウェーハ・LCD、ハードディスクなどの精密洗浄に使用されています。(2分42秒)
高い洗浄効果が期待できる独自の振動子構造を採用しています。両面同時洗浄を可能にする同一筺体に２台を装着したＷスポットシャワーもラインナップしています。
製品紹介
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