FB-x26BUMP3
- 最大8インチのウェハーまで対応可能
- ウェハーレベルボンダ「FB-x26BUMP3」は単体のご使用では手動搬送方式で最大8インチのウェハに対応します。 またオプションの搬送システム「WHS-996」との接続により全自動搬送ボンダとしてご使用頂けます。
FB-x26BUMP3
- ２つのウェハステージにより生産性のアップ
- トレーサビリティと自己診断機能をアップグレード
- ウェハ供給WHS-996との組合せで自動搬送が可能
主な仕様
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| ボンディング性能 | ボンディング精度 (セルフティーチ精度含まず) |
±3.0μm(3σ) |
|---|---|---|
| ボンディング範囲 | 200mm（８インチ）まで （手載せ仕様） 自動搬送仕様はｳｪﾊ外周2.5mm がﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞ範囲外 例）8ｲﾝﾁ：直径195mm の円周がﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞ範囲 |
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| 生産性 | ボンディング時間 | 30msec/bump(Pill-cut mode) 40msec/bump(Fix-cut mode) |
| 対応搬送システム | ウェハサイズ | 最大8インチ |
| 搬送方式 | セミオート搬送（手載せ搬送） ※WHS-996との併用でフルオート搬送が可能 |
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| その他 | 外観寸法 | FB-x26BUMP3 : W1,132×D1,234×H1,728mm WHS-996 : W680×D1,190.5×H1,424 |
| 重量 | FB-x26BUMP3：600kg WHS-996：300kg |
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