FB-x26BUMP1
- ６インチウェハーまで対応可能
- フルオート・ウェハレベル・バンプボンダ「FB-x26BUMP1」は、マガジンに収納されたウェハを自動でボンディングステージに供給させる搬送システムを搭載しています。
FB-x26BUMP1
- 最大６インチウェハ対応（キャリア搬送）
- マガジンによる自動ウェハ供給
- トレーサビリティと自己診断機能のアップグレード
主な仕様
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| ボンディング性能 | ボンディング精度 (セルフティーチ精度含まず) |
3σ≦3.0μm |
|---|---|---|
| ボンディング範囲 | 4インチウェハ：直径95mm 6インチウェハ：直径145ｍｍ |
|
| 生産性 | ボンディング時間 | 30msec/bump (Pill-cut mode) 40msec/bump (Fix-cut mode) |
| 対応搬送システム | ウェハサイズ | 最大6インチ |
| 搬送方式 | キャリアテープによる自動搬送 | |
| マガジン | 幅：176mm 長さ：180mm または 200mm 高さ：170mm |
|
| その他 | 外観寸法 | W1,292×D1,240×H1,728mm |
| 重量 | 550kg |
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