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| ボンディング性能 | ボンディング精度 (セルフティーチ精度含まず) |
±2.5μm(3σ) |
|---|---|---|
| ボンディング範囲 | 15mm×80mm | |
| 生産性 | ボンディング時間 | 43msec/wire (2mm 長ワイヤ) |
| 製品寸法 | COS COC |
幅 : 0.6mm~5mm 長さ : 0.6mm~5mm (形状によっては最大10mmまで) 厚さ : 0.2mm~5mm |
| TO-CAN | φ3.3mm~φ9mm | |
| 対応搬送システム | Can 収納トレー寸法 (標準サイズ) | 172.5mm×156mm×25mm 縦 150mm ~ 180mm 横 150mm ~ 180mm 高さ 20mm ~ 25mm |
| トレイストック数 | 5トレイ | |
| Waffleパック搭載数 | 2インチ / 4個 | |
| Gel パック搭載数 | 2インチ / 4個 | |
| その他 | 外観寸法 | W1,940×D1,327.2×H1,766.4mm |
| 重量 | 800kg |
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