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ボンディング性能 | ボンディング精度 (セルフティーチ精度含まず) |
±3.0μm(3σ) |
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ボンディング範囲 | 15mm×80mm | |
生産性 | ボンディング時間 | 43msec/wire (2mm 長ワイヤ) |
対応搬送システム | Can 収納トレー寸法 (推奨サイズ) | 172.5mm×156mm×14~25mm |
ストック数 | 5トレイ | |
その他 | 外観寸法 | W1,365×D1,327×H1,766mm |
重量 | 600kg |
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