事例紹介：サファイア、半導体サポートガラス、合成石英の洗浄
半導体装置用部材や、パーツの洗浄は一般的な機械部品よりも高い清浄度が求められます。
このため、要求清浄度に合わせた超音波洗浄の選定が必要になります。
被洗浄物の例
サファイアウエハ
半導体サポートガラス
合成石英
汚れの例
母材由来（アルミナ、SiC）
洗浄機スタイル
洗浄タンク
使用周波数
3８kHz､100kHz、WRS
使用洗浄剤
純水
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