事例紹介：静電チャック、真空チャックの洗浄
半導体装置用部材や、パーツの洗浄は一般的な機械部品よりも高い清浄度が求められます。
このため、要求清浄度に合わせた超音波洗浄の選定が必要になります。
被洗浄物の例
静電チャック
真空チャック
汚れの例
Siｃ、アルミナ、パーティクル、金属コンタミ、軽質油
洗浄機スタイル
洗浄タンク水平置き、スピン＋スポットシャワー、真空
使用周波数
38kHz､430kHz､950kHz
使用洗浄剤
中性、アルカリ洗剤、純水
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