事例紹介：半導体装置用配管部品（金属製）の洗浄
半導体装置用部材や、パーツの洗浄は一般的な機械部品よりも高い清浄度が求められます。
このため、要求清浄度に合わせた超音波洗浄の選定が必要になります。
被洗浄物の例
SUS接手
様々なダイヤフラムバルブ
様々なボールバルブ
汚れの例
パーティクル、油分
洗浄機スタイル
洗浄タンク
使用周波数
38kHz､100kHz
使用洗浄剤
中性、アルカリ洗剤、純水
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