事例紹介：CVD用サセプター、高密度炭素製品の洗浄
半導体装置用部材や、パーツの洗浄は一般的な機械部品よりも高い清浄度が求められます。
このため、要求清浄度に合わせた超音波洗浄の選定が必要になります。
被洗浄物の例
CVD用サセプター
高密度炭素製品
汚れの例
切削加工残のカーボン粉
洗浄機スタイル
多槽式バッチ洗浄機（純水製造装置）
使用周波数
26kHz､78kHz､950kHz､WRS
使用洗浄剤
純水のみ
超音波洗浄機の導入にご興味をお持ちいただけましたら、下記フォームからお気軽にお問い合わせください。
お問い合わせフォーム
半導体装置用部材・パーツ洗浄の事例紹介の一覧はこちらをクリックしてご覧ください。
