事例紹介：半導体装置用配管部品（樹脂製）の洗浄
半導体装置用部材や、パーツの洗浄は一般的な機械部品よりも高い清浄度が求められます。
このため、要求清浄度に合わせた超音波洗浄の選定が必要になります。
被洗浄物の例
PFA配管
PPキャップ
テフロンバルブ
テフロン接手
汚れの例
コンタミ（金属コンタミ含む）、油分
洗浄機スタイル
多槽式バッチ洗浄機（真空洗浄、真空乾燥、純水製造装置）
使用周波数
38kHz､78kHz､100kHz､WRS
使用洗浄剤
中性、酸性、純水
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