【展示室】展示機器の紹介 ハイメガソニックシリーズ68101型発振器
超音波機器事業部の展示室に展示している
既に生産を終了した旧機器を1機種ずつご紹介します。
展示機器名：
高周波超音波洗浄機
ハイメガソニック シリーズ ６８１０１型発振器
展示機器の仕様：６８１０１型発振器
６８１０１型発振器の出力：６００Ｗ
作動周波数：９５０ｋＨｚ
電源：ＡＣ２００Ｖ ６Ａ ５０/６０Ｈｚ
発振機外形：３２０(W)×520(D)×144(H)ｍｍ
発振機重量：17ｋｇ
６８１０１型発振器の製作年：
１９９７年～２０１４年
シリーズの特徴：
半導体ウエハやLCDガラスおよびHDDディスクなど
ダメージが発生しやすいワークの洗浄工程で
1μｍ以下のパーティクルを除去する目的として開発された。
６８１０１型発振器はメガソニック帯域のハイパワー型で
デジタル制御と外部通信機能を日本で初めて搭載したモデルとして
１９９７年に製造を開始した。
このモデルは
国内・海外の半導体装置メーカーからの採用が相次いだ。
対象とするワーク・工程が拡大していくことに伴い
機種も追加されていき、シリーズ化がなされた。
主な機種は以下の５機種。
・６８１０１型発振器（９５０ｋＨｚ ６００Ｗ）
・７８１０１型発振器（９５０ｋＨｚ ９００Ｗ）
・７８１０２型発振器（７５０ｋＨｚ ９００Ｗ）
・６７１０１型発振器（４３０ｋＨｚ ６00Ｗ）
・６５１０１型発振器（２００ｋＨｚ ４３0Ｗ）
現行機種：
クオーバ ハイメガソニック洗浄（超音波精密洗浄）の製品紹介ページはこちらをクリックしてください。
クオーバ ミッドソニック洗浄（超音波精密洗浄）の製品紹介ページはこちらをクリックしてください。
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