【実験室】洗浄評価方法（測定器）の紹介 レーザー光可視化装置（レーザー光可視化法）
超音波機器事業部の実験室で使用している測定器・器具を１機種ずつ、
洗浄評価の方法と併せてご紹介させていただきます。
機器名称：
レーザー光可視化装置（レーザー光可視化法）
測定分野：
ワーク（ガラス基板）に付着している異物(固形物、油脂)の分布画像を撮影。
使用例：
異物の他、ガラス基板上薄膜のダメージ分布画像の撮影。
測定方法：
レーザー光が垂直に当たるようにワークを設置し、PCに接続されたCCDカメラで画像撮影。
得られる測定結果：
短時間で簡易的に撮影できる。
レーザー光のため、解像度良く異物を判定できる。
測定写真：
メリット：
短時間で簡易的に撮影できる。レーザー光のため、解像度良く粒子を判定できる。
デメリット：
透明なワーク以外適用不可。
異物サイズは測定できない。
備考：
一般的に使用されている手法ではない。
アクリル槽内の超音波分布の可視化（シュリーレン法）も可能。
※ご紹介した測定器・器具や測定方法は一例です。
目的に合わせて機器や測定方法を選定してください。
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