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【展示室】展示機器の紹介 ハイメガソニックシリーズ6848型発振器

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超音波機器機事業部の展示室に展示している
既に生産を終了した旧機器を1機種ずつご紹介します。

展示機器名:
高周波超音波洗浄機
ハイメガソニック シリーズ 6848型発振器

展示機器の仕様:6848型発振器
出力:600W   
作動周波数:950kHz   
電源:AC200V 6A 50/60Hz  
発振機外形:320(W)×490(D)×164(H)mm
発振機重量:17kg

6848型発振器の製作年:
1989年~1997年

シリーズの特徴:
1989年に製造開始した半導体洗浄用のメガソニック帯域の超音波洗浄機ハイメガソニック。
作動周波数が950kHzと高周波のため、半導体ウエハやLCD基板およびHDDディスクなどの
1μm以下のパーティクル洗浄が可能。またダメージ発生が少ない。
同周波数帯域のハイパワータイプ発振機としては国産初の周波数自動追尾機能を搭載。
このモデルは半導体装置メーカーからの採用が相次いだ。
高出力タイプの7848発振器や特殊仕様の発振器、
ラインシャワータイプの振動子が追加されシリーズ化がなされた。

主な機種(発振器)は以下の2機種。
 ・6848型発振器(950kHz 600W)
 ・7848型発振器(950kHz 900W)

現行機種:
クオーバ ハイメガソニック洗浄(超音波精密洗浄)の製品紹介ページはこちらをクリックしてください。

生産終了情報のページはこちらをクリックしてください。


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