【展示室】展示機器の紹介 ハイメガソニックシリーズ6848型発振器
超音波機器事業部の展示室に展示している
既に生産を終了した旧機器を1機種ずつご紹介します。
展示機器名：
高周波超音波洗浄機
ハイメガソニック シリーズ ６８48型発振器
展示機器の仕様：６８４８型発振器
出力：６００Ｗ
作動周波数：９５０ｋＨｚ
電源：ＡＣ２００Ｖ ６Ａ ５０/６０Ｈｚ
発振機外形：320（W）×490（D)×164（H）ｍｍ
発振機重量：17ｋｇ
６８４８型発振器の製作年：
1989年～1997年
シリーズの特徴：
1989年に製造開始した半導体洗浄用のメガソニック帯域の超音波洗浄機ハイメガソニック。
作動周波数が950ｋＨｚと高周波のため、半導体ウエハやLCD基板およびHDDディスクなどの
1μｍ以下のパーティクル洗浄が可能。またダメージ発生が少ない。
同周波数帯域のハイパワータイプ発振機としては国産初の周波数自動追尾機能を搭載。
このモデルは半導体装置メーカーからの採用が相次いだ。
高出力タイプの７８４８発振器や特殊仕様の発振器、
ラインシャワータイプの振動子が追加されシリーズ化がなされた。
主な機種（発振器）は以下の２機種。
・６８４８型発振器（９５０ｋＨｚ ６００Ｗ）
・７８４８型発振器（９５０ｋＨｚ ９００Ｗ）
現行機種：
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