コンタミや塵埃、軽質油の精密洗浄に適したフッ素系洗浄液用の装置です。チラーユニットが付属しているので洗浄液の消耗を低減できます。省スペース対応なので工場内の各所に配置可能です。搭載する超音波洗浄機はフェニックスハイパーやフェニックス+(プラス)から選択可能です。洗浄工程は超音波洗浄→蒸気洗浄・蒸気乾燥と煮沸洗浄→超音波洗浄→蒸気洗浄・蒸気乾燥2通りの対応が可能です。