枚葉用チューブ型高周波超音波洗浄機

太陽電池、ＦＰＤ基板、ＨＤ基板を精密洗浄

■特徴

●面内均一性が高く、ダメージの無い洗浄が可能
●チューブがフリー形状で自由自在に設置可能
●洗浄液使用量の大幅低減
●大面積、高速タクト洗浄、縦型搬送にも対応