【実験室】洗浄評価方法（測定器）の紹介 ウエハ表面検査装置（レーザー測定法）
洗浄評価方法をご検討される時のご参考として
超音波機器事業部の実験室で使用している測定器・器具を１機種ずつ、
洗浄評価の方法と併せてご紹介させていただきます。
機器名称：
・ウエハ表面検査装置
測定分野：
・シリコンやガラス基板上のパーティクル個数の評価
使用例：
・各洗浄手法におけるパーティクル除去評価
測定方法：
・ワークにレーザー光をスパイラルスに照射し、その反射を測定する。
得られる測定結果：
・表面に付着している異物の粒径、個数
測定例
メリット：
・表面に付着している異物の個数、サイズが具体的に得られる。
デメリット：
・装置が高価
・基板や異物の大きさが測定範囲外ならば計測できない。
※ご紹介した測定器・器具や測定方法は一例です。
目的に合わせて機器や測定方法を選定してください。
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