【実験室】洗浄評価方法（測定器）の紹介 表面清浄度パーティクルモニタ
洗浄評価方法をご検討される時のご参考として
超音波機器事業部の実験室で使用している測定器・器具を１機種ずつ、
洗浄評価の方法と併せてご紹介させていただきます。
機器名称：
・表面清浄度パーティクルモニタ
パーツセンス
測定分野：
・粒子、異物測定
使用例：
・加工物の異物残渣確認
・クリーンスーツ等、繊維に付着した異物管理
測定方法：
・専用PADに転写させ、PAD表面に付着した転写物を撮影し計測する
得られる測定結果：
・ヒストグラムによる粒子サイズ分布および写真データ
メリット：
・専用の転写PADを用いることで、平面でないところも測定が可能
・測定レンジが広い（2µm～3mm）
デメリット：
・ヒストグラムの範囲が可変できない
・油等があると測定できない
紹介機器お問合せ先：
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