【実験室】洗浄評価方法（測定器）の紹介 レーザー元素分析ヘッド付きデジタルマイクロスコープ
洗浄評価方法をご検討される時のご参考として
超音波機器事業部の実験室で使用している測定器・器具を１機種ずつ、
洗浄評価の方法と併せてご紹介させていただきます。
機器名称：
・レーザー元素分析ヘッド付きデジタルマイクロスコープ
VHX-8000+EA-300
測定分野：
・ワーク表面の粗さや付着物のサイズまたは所定面積内の個数
・ワーク表面または付着物の元素分析
使用例：
・洗浄前の付着物やワークの表面状態（元素、凹凸など）の観察および測定
・洗浄後のダメージや付着物残りの元素
測定方法：
・レーザで物質をプラズマ化し発光色で元素を分析
・マイクロスコープの走査で物質のサイズ・数量を測定
得られる測定結果：
・元素名
・所定面積内の異物個数
測定風景
メリット：
・ワーク表面と付着物の元素が特定できる
・付着物のサイズ・数量が測定できる
・クリーンルームで使用可能
・ワークの前処理が不要
・元素特定とサイズ、粒子総量の計測を一台で完結
・元素成分の分析で酸化膜などの表面状態や、深さ方向の変化の観察が観察可能
・表面光沢を抑えて表面の凹凸か付着物なのかの判断を容易する撮影が可能
デメリット：
・袋穴の陰などカメラのピントが合わない箇所は測定ができない
・元素分析の際、ワークにレーザーによる微細な打痕が残る
備考：
メッキ厚の分析も可能
紹介機器お問合せ先：
製造元の窓口にお問合せ下さい。
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