超音波洗浄機の使用事例１　半導体/FPD/HDD用超音波洗浄機

半導体/FPD/HDD用超音波洗浄機の特徴

半導体ウエハやLCDパネル、またHDD部品などの洗浄はダメージの発生が問題となります。ダメージの主な発生要因は キャビテーションによるものと考えられています。このため高精密洗浄が必要となるものには、周波数が高くキャビテー ションの発生が少ない「中間周波」帯域（78 k～430 kHz）および「メガソニック」帯域（500 k～5 MHz）の高周波超音波洗浄機が使用されています。

特に「クオーバシリーズ」は精密出力コントロールが可能となり、繊細なウエハの洗浄に対応できます。またミックス＆マッチ方式を採用しているので、振動子を交換した場合でもマッチング調整の必要がありません
 

半導体/FPD/HDDの超音波洗浄方法

半導体ウエハやLCDパネル、またはHDD部品などの洗浄には、主に「バッチ処理（ひとつの槽で多数個をまとめて洗う）方式」と「枚葉洗浄（１枚毎に洗うマイヨウ洗浄）方式」があります。

バッチ処理用超音波洗浄機

バッチ方式は、ひとつの槽で多数個をまとめて洗う場合に最適です。超音波振動子が設置された洗浄槽に洗浄物を多数個入れ、まとめて洗います。超音波振動子は振動板タイプ が最も良く使われていますが、用途により投込振動子や洗浄槽タイプも使用されています（振動子のタイプに関しましては、超音波洗浄機の構成をご参照ください）。

バッチ処理方式は直接洗浄方式と間接洗浄方式（二重槽方式とも呼ばれています）があります。
直接洗浄方式は洗浄効果も高く、洗浄槽内に複雑な機構部品が無く、最もポピュラーな方式です。 一方、間接洗浄方式は、より高精密洗浄を行う場合に採用されています。振動板や洗浄槽外壁からの発塵を無くす場合や 特殊な薬液を使う場合に有効な方式です。現在の半導体洗浄には石英内槽を使用した間接洗浄方式が最も良く使われています。

枚葉処理用超音波洗浄機

枚葉式とは、文字通り洗浄物を１枚毎に洗う方法です。本方式の振動子は用途により様々な形のものが作られており、洗浄物の形状や洗浄性能、設置場所の関係などから選ばれています。代表的な枚葉用の振動子をご紹介しましょう。

１）ＵＳシャワー


幅約1mmのウォーターカーテンにハイメガソニック（950 kHzの超音波）を載せてLCDや半導体ウエハなどを１枚毎に洗浄します。洗浄物を下からも洗浄でき、またダメージ発生を抑え、高精密洗浄を実現しています。なお、洗浄幅は洗浄物に応じて設計いたします。 超音波発振器は、定評のあるハイメガソニックと高機能クオーバが使用できます。

＞製品情報はこちら ２）スポットシャワー
細いノズルからハイメガソニック（430 kHz～3 MHzの超音波）が載った洗浄液を噴射させ、 HDDディスク、半導体ウエハやLCDなどを１枚毎に洗浄します。カイジョースポットシャワーは二重整流多重反射方式超音波ノズル（特許登録済）を採用。従来の３倍の超音波強度を持ち、効率的な洗浄が可能です。 作動周波数は430 kHzから3 MHzまでの各機種があり、汚れの状態から選ばれています。対応発振器はクオーバシリーズとなりますので各種管理機能をもち、キメの細かい出力設定が可能です。 また、カイジョースポットシャワーを２台セットにし、表裏同時洗浄を可能にしたＷスポットシャワーもあります。

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３）メガチューブ
細い石英又はステンレスのパイプ先端からハイメガソニック（430 kHzもしくは950 kHzの超音波）が載った洗浄液を噴射させ、 HDDデスク、半導体ウエハやLCDなどを１枚毎に洗浄します。メガチューブの先端パイプ部分は自由な形状に曲げた形に製作できますので、チャンパー内に振動子を設置できない場合などや、超音波振動子が設置できない雰囲気での超音波洗浄などに最適です。 また、洗浄効果UPのために後付けでの設置にも適しています。 本機はパイプ先端から洗浄液を出す方式のほか、パイプ外壁からも超音波を照射できますので、パイプ側面に洗浄液を供給することにより 様々な洗浄に対応が可能です。 作動周波数は430 kHzと950 kHzがあり、汚れの状態から選ばれています。対応発振器はクオーバシリーズとなりますので 各種管理機能をもち、キメの細かい出力設定が可能です。

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