超音波精密洗浄
カイジョースポットシャワー超音波洗浄機
４３０ｋＨｚ／９５０ｋＨｚ
半導体ウェーハ・ＬＣＤの枚葉洗浄、ハードディスク洗浄
超音波をのせた洗浄液をノズル先端より噴射
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カイジョースポットシャワー 27200型振動子(430kHz) 28200型振動子(950khz) |
27101型発振器(430kHz) 27101M型発振器(430kHz) 28101型発振器(950kHz) |
カイジョーＷスポットシャワー |
カイジョースポットシャワー
●ハイメガソニック超音波を特殊反射方式により集中させ洗浄液に伝搬。先端の穴から噴射し、半導体ウェーハやＬＣＤを効率よく洗浄。
カイジョーＷスポットシャワー
●カイジョースポットシャワーを同一筐体に2台装着させ、ハードディスク等の表裏両面同時洗浄が１台で可能となりました。
９５０ｋＨｚの他４３０ｋＨｚモデルも製作可能です。
■発振器特徴
●ＣＰＵ内臓によりホストコンピュータとの交互通信ができ、出力の集中コントロール、作動状態のフィードッバック（自己診断機能）が可能です。
●３桁のデジタル表示により、常時作動状況の管理が可能で高精度な管理が行えます。
●発振状態表示は、上下限異常表示が行え、その接点出力も可能です。
●カイジョー独自のＰＬＬ方式により液の種類、液深、液温等が変わっても自動で最適な周波数を発振します。
■発振器スペック
| 項目 | 仕様 | |
|---|---|---|
| 型名 | ２７１０１ | ２８１０１ |
| 最大出力 | ５０Ｗ | ４５Ｗ |
| 実効出力 | ５０Ｗ | ３０Ｗ |
| 作動周波数 | ４３０ｋＨｚ | ９５０ｋＨｚ |
| 発振方式 | Ｖ.Ｃ.Ｏ | |
| 周波数調整 | 自動追尾ＰＬＬ方式 | |
| 動作表示 | ７セグデジタル ３桁 | |
| 遠隔制御機構 | 有り | |
| 保護回路 | 出力異常警報、振動子異常警報、発熱異常警報 | |
| 使用周囲温度 | ０～４０℃ | |
| 使用周囲湿度 | ０～８０％（但し結露の無いこと） | |
| 電 源 | ＡＣ1００ ２．５Ａ | ＡＣ1００ ２Ａ |
| 外形寸法 （ＷｘＤｘＨmm） |
２２０ｘ２６０ｘ１４０ | ２２０ｘ２６０ｘ１４０ |
| 重量 | 約５㎏ | |
| ■カイジョースポットシャワースペック | ■カイジョーＷスポットシャワースペック |
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