洗浄装置への導入例
枚葉式半導体ウエハの洗浄装置例
メガチューブ＆スポット型シャワーを使用した両面洗浄、表面洗浄とエッジの同時洗浄装置
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| カイジョースポットシャワー | メガチューブ |
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| 従来機の3倍の音圧で高洗浄力を発揮 | 石英パイプ又はステンパイプ先端から950ｋHzのメガソニックが載った洗浄液を噴射させ洗浄。パイプの曲げ方は自由自在 |
バッジ式半導体ウエハの洗浄装置例
クオーバ＆ハイメガソニックを使用した半導体ウエハ洗浄装置
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使用工程：バッジ洗浄及びリンス槽
| クオーバ | ハイメガソニック |
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| ハイメガソニックの後継機クオーバは4種類の発振モードと精密出力コントロールでダメージ低減と高洗浄力を実現可能です。 | 101型ハイﾒｶﾞｿﾆｯｸはRS485やデバイスネットなどの外部通信機能を国内で最初に搭載しました。また安定した洗浄力が評価されています。 |
金属加工物の洗浄装置例
フェニックス26ｋHz/38ｋHz/ＦＭを使用した洗浄装置
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使用工程：3槽式などの洗浄槽及びリンス槽
| フェニックスⅡ | レジェンド38ｋHz |
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| カイジョー独自の定出力ＰＣＣ回路を搭載し、安定作動と高洗浄力を実現しました。 | 高洗浄力を誇るフェニックスⅡにＦＭ機能を追加し、洗浄ムラをさらに低減、様々な洗浄用途に使用されています。 |
金属加工物の洗浄装置例
レジェンド38ｋHzを使用したバレル洗浄装置
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使用工程：バレル洗浄
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レジェンド38ｋHz |
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| 高洗浄力を誇るフェニックスⅡにＦＭ機能を追加し、洗浄ムラをさらに低減、様々な洗浄用途に使用されています。 |
真空洗浄装置への搭載例
フェニックスⅡ真空対応振動子を使用した炭化水素真空洗浄装置
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| 真空対応振動板 | フェニックスⅡ26ｋHz | レジェンド38ｋHz |
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| 真空と常圧を頻繁に繰り返しても故障しない、カイジョー独自の耐圧構造を使用。安心してご使用いただけます。 | 高洗浄力を誇るフェニックスⅡ。ＦＭ機能を追加したレジェンド。カイジョー独自の定出力ＰＣＣ回路を搭載し、安定作動と高洗浄力を実現しました。 | |
＊洗浄装置をご希望の場合は、装置メーカーをご紹介いたします。最寄りの支店までご相談ください。